Hilden, 09.11.2026 (PresseBox) - Mit Ausgabedatum 2026-11 sind die Norm-Entwürfe E DIN EN ISO 23131-2 ?Ellipsometrie ? Teil 2: Modell Volumenmaterial (ISO 23131-2:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-2:2026? und Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht (ISO 23131-3:2026); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131-3:2026 erschienen. Frist zur Stellungnahme ist der 16. Dezember 2026.

Teil 2 legt das Verfahren zur Bestimmung der optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung auf Basis des Modells Volumenmaterial fest. 

Teil 3 legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ?1) Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k = 0 angewendet wird, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. 

Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-02-101 AA ?Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).

Die Dokumente können bei der DIN Media GmbH, 10772 Berlin bezogen werden. Die Norm-Entwürfe können bis 16. Dezember 2026 im Norm-Entwurfs-Portal kommentiert werden: Teil 2 und Teil 3.